In-situ plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL, and other high vacuum chambers. - iMag

In-situ plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL, and other high vacuum chambers.

In-situ plasma cleaner for SEM, FIB, XPS, ALD, EUVL, and other high vacuum chambers.

SEMI-KLEEN ve EM-KLEEN serisi uzaktan plazma temizleyiciler, "Lawrence Berkeley National Laboratory","US national laboratory"’de geliştirilen yüksek verimli endüktif eşleşmeli plazma (ICP) deşarj teknolojisine dayanmaktadır. Patent başvurusu yapılmış Turbo Discharge™ teknolojimiz, plazma gücünü geleneksel ICP deşarj teknolojisine kıyasla 3 kata kadar daha da artırır.

Tipik uygulamalar:

Yerinde numune temizliği (FE-SEM, FIB ve TEM için)Yarı iletken ekipmanlar için kontaminasyon giderme (CD-SEM, EBR, EBI, EUVL gibi)Yüksek vakum odası temizliği; su, hidrokarbon ve florokarbon kontaminasyonunu gidermek ve pompalama süresini azaltmakXPS, SIMS, AES için numune temizliğiOrganik çözücü temizliğinden sonra ALD ve epi-büyüme için numune temizliği

EM-KLEEEN in-situ plasma cleaner installed on Zeiss Gemini SEM — Plasma cleaner for Zeiss Gemini SEM

EM-KLEEN downstream plasma cleaner for ThermoFisher (FEI) SEM and FIB system. — EM-KLEEN on Thermo Fisher (FEI) SEM/FIB

EM-KLEEN in-situ plasma cleaner installed on JEOL FESEM — EM-KLEEN for JEOL FE-SEM

EM-KLEEN plasma cleaner for Hitachi FESEM — EM-KLEEN on Hitachi SEM

EM-KLEEN in-situ plasma cleaner for TESCAN SEM and FIB — Plasma cleaner for TESCAN SEM/FIB

SEMI-KLEEN remote plasma source for XPS equipment — Plasma cleaner for XPS system

Diğer Ürünler

iMag sağlanan hizmetlerin iyileştirilmesi ve web sitesinde en iyi deneyimi yaşamanızı sağlamak için çerezleri kullanır.

close